지올, 새로운 쇼트키 전계방출형 주사전자현미경 ‘JSM-IT800’ 출시

인텔리전스 기술 플랫폼에서 전계방출형 주사전자현미경 구현

2020-05-26 10:05 출처: JEOL Ltd.

JSM-IT800

도쿄--(뉴스와이어) 2020년 05월 26일 -- 지올(JEOL Ltd., 도쿄증권거래소: 6951, 사장 겸 최고운영책임자 오이 이즈미(Izumi Oi))이 새로운 쇼트키(Schottky) 전계 방출(field emission, FE)형 ‘주사 전자 현미경(scanning electron microscope, SEM)’인 JSM-IT800을 2020년 5월에 출시한다고 발표했다.

개발 배경

SEM은 나노 테크놀로지, 금속, 반도체, 세라믹, 의료, 생물학 등 다양한 분야에서 사용된다. 연구·개발에서 제조 현장의 품질 관리 및 제품 검사에 이르기까지 SEM 애플리케이션이 확대되면서 SEM 사용자들은 이제 고품질 데이터를 더 빨리 수집하고 구성 정보를 더 간단하게 확인하고 싶어 한다.

JSM-IT800은 사용자들의 이런 수요를 뒷받침하기 위해 인텔리전스 기술(IT) 플랫폼상에서 고해상도 이미지를 신속하게 매핑하는 ‘인렌즈 쇼트키 플러스 전계방출 전자총(In-lens Schottky Plus FE electron gun)’과 혁신적 전자 광학 제어 시스템인 ‘네오 엔진(Neo Engine)’, 매끄러운 그래픽 유저 인터페이스(GUI)인 ‘SEM 센터(SEM Center)’를 통합했다. SEM 센터는 지올의 ‘에너지 분산형 X레이 분광기(EDS)’를 완전 통합하고 있다. JSM-IT800은 각기 다른 대물렌즈를 탑재한 2개 버전으로 구성되어 있다. 다목적 SEM용 하이브리드 렌즈(Hybrid Lens, HL)와 고화질 해상도 측정 및 다양한 분석용으로 적합한 슈퍼 하이브리드 렌즈(Super Hybrid Lens, SHL)를 각각 탑재했다.

SHL 버전에는 뛰어난 신호 대 잡음비(signal-to-noise ratio)로 이미지 화질을 높이는 ‘우퍼 하이브리드 디텍터(Upper Hybrid Detector, UHD)’도 탑재하고 있다.

새로운 ‘신틸레이터 후방 전자 디텍터(Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED)’와 ‘다용도 후방 산란 전자 디텍터(Versatile Backscattered Electron Detector)’도 JSM-IT800를 통해 이용할 수 있다.

기능

1. 인렌즈 쇼트키 플러스 전계방출 전자총

JSM-IT800은 전자총과 저수차(low-aberration) 집광 렌즈를 통합해 높은 선명도를 제공한다. 또 낮은 가속 전압(5kV에서 100nA)에서 전류를 풍부하게 프로브(probe)할 수 있다. 지올의 유일무이한 인렌즈 쇼트키 플러스 시스템을 사용하면 고해상도 이미지 처리부터 고속 요소 매핑, 후방 산란 전자 회절(electron backscatter diffraction, EBSD) 분석, 소프트 X레이 방사분광법(soft X-ray emission spectroscopy, SXES)에 이르는 다양한 애플리케이션을 렌즈 조건을 변경하지 않고 이용할 수 있다.

2. 네오 엔진(새로운 전자 광학 엔진)

네오 엔진은 지올이 보유한 핵심 기술들을 총망라한 최첨단 전자 광학 시스템이다. 관측 및 분석 조건을 변경해도 안정적인 관측이 가능하다. 또 자동 기능 작동성을 크게 향상시켰다.

3. SEM 센터/ EDS 통합

‘SEM 센터’는 지올의 에너지 분산형 X레이 분광기(EDS)를 완전 통합해 매끄럽고 직관적인 조작이 가능하다. JSM-IT800은 초보 사용자들을 지원하는 스마일내비(SMILENAVI), 라이브 이미지의 품질을 높이는 라이브-AI(LIVE-AI) 필터 등의 선택적 소프트웨어 기능을 통합해 기능을 한층 강화했다.

4. HL 버전과 SHL 버전

모두 정전계 렌즈와 전자계 렌즈를 결합한 HL 버전과 SHL 버전은 고공간 해상도의 이미지를 처리하고, 자성체에서 절연체에 이르는 광범위한 샘플을 분석할 수 있어 사용자들의 다양한 요구를 충족시킨다.

5. UHD

SHL 버전에 탑재된 UHD는 검출 효율을 크게 개선했으며 이를 통해 뛰어난 신호 대 잡음비로 화질이 높은 이미지를 획득할 수 있다.

6. 새로운 후방 전자 디텍터

신틸레이터 후방 전자 디텍터(SBED)는 반응성이 뛰어나 낮은 가속 전압에서 물질의 콘트라스트 이미지를 획득하는 데 적합하다. 다용도 후방 산란 전자 디텍터(VBED)는 디텍터 요소 설계를 세그먼트화했기 때문에 사용자들은 개별 세그먼트 설정과 사전 프로그램된 디텍터 설정 중 하나를 선택해 3차원이나 지형, 구성 정보 등의 이미지를 획득할 수 있다.

목표 판매량

1) JSM-IT800 SHL 버전: 연간 90대
2) JSM-IT800 HL 버전: 연간 50대
 
지올(JEOL Ltd.)
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
오이 이즈미(Izumi Oi) 사장 겸 최고운영책임자
(종목 코드: 6951, 도쿄증권거래소 1부)
www.jeol.com

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